薄膜太阳能电池的退火装置

主权项

一种薄膜太阳能电池退火装置，适于对一薄膜太阳能电池进行退火制程，包含：至少一退火室；一第一加热器，设于该退火室内，用以对该薄膜太阳能电池加热，其中该第一加热器包含多个第一加热管及多个玻璃石英套管(Robax)，并使每一第一加热管之外侧分别套上该玻璃石英套管，藉以保护该些第一加热管，而且该些第一加热管位于该些滚轴底侧，且不突出于该些滚轴；以及一传送装置，设于该退火室内且包含多个滚轴，每一滚轴皆沿着一第一方向排列并朝相同方向旋转，其中该薄膜太阳能电池的背面接触该些滚轴，藉以使该薄膜太阳能电池于该些滚轴上沿该第一方向移动，使得该退火室内的该薄膜太阳能电池相对该第一加热器移动。