| 摘要 |
<p>본 발명은 마스크 조립체 및 증착 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판과 마스크의 밀착성을 향상시키고, 기판의 증착 영역을 확장하기 위한 마스크 조립체 및 증착 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체는 기판을 탑재하여 고정 지지하기 위한 기판 홀더, 상기 기판에 패턴을 형성하기 위한 복수의 패터닝 슬릿이 형성되는 증착부와 상기 증착부의 외측에 배치되는 주변부를 구비하는 마스크 및 상기 증착부에 대응하는 증착 영역을 포함하도록 개구되는 개구부와 상기 주변부에 결합되는 지지부를 구비하는 마스크 프레임을 포함하고, 상기 마스크의 주변부에는 상기 기판 홀더에 대향 배치되어 기판 홀더 회피부가 형성된다.</p> |
