发明名称 |
用于虚拟量测之电缆功率损失决定;CABLE POWER LOSS DETERMINATION FOR VIRTUAL METROLOGY |
摘要 |
描述将电缆损失模型化的方法。该方法包括接收在射频(RF)产生器的反向功率及正向功率之测量结果。该方法更包括将传输至匹配网路的理论功率计算为在正向功率与反向功率之间的差、及计算反向功率对正向功率之比率以产生RF功率反射比率。该方法更包括了基于RF产生器之频率而辨识电缆功率衰减分数、及将电缆功率损失计算为RF功率反射比率、电缆功率衰减分数、及理论功率之函数。该方法包括基于理论功率及电缆功率损失而计算待传输至阻抗匹配网路的实际功率、并将所计算的实际功率发送至RF产生器以产生RF信号。 |
申请公布号 |
TW201538991 |
申请公布日期 |
2015.10.16 |
申请号 |
TW104100661 |
申请日期 |
2015.01.09 |
申请人 |
兰姆研究公司 LAM RESEARCH CORPORATION |
发明人 |
豪瓦德 亚瑟M HOWALD, ARTHUR M.;微寇尔 小约翰C VALCORE, JOHN C. JR. |
分类号 |
G01R21/01(2006.01);G01R31/00(2006.01) |
主分类号 |
G01R21/01(2006.01) |
代理机构 |
|
代理人 |
许峻荣 |
主权项 |
|
地址 |
美国 US |