蒸镀设备;Evaporation Equipment

摘要

一种蒸镀设备，系具有材料供给装置，该材料供给装置系供装填包含多种不同材质且均匀混合的蒸镀材料粉末。蒸镀设备还可包括推进机构，以对材料供给装置内所装填的蒸镀材料粉末施加推进力，使蒸镀材料粉末能够喷射到蒸镀室中蒸镀材料载具的适当位置，此时蒸镀材料载具会被加热到大于蒸镀材料粉末中所有蒸镀材料的汽化温度，藉以在同一时间将蒸镀材料粉末中的各种蒸镀材料汽化，亦即利用粉末闪蒸方式将各种蒸镀材料的汽化分子均匀镀上待镀物的镀面，以使待镀物镀面上的薄膜成分均匀。