半导体元件及其形成;SEMICONDUCTOR DEVICE AND FORMATION THEREOF

摘要

提供一种半导体装置及其形成。半导体装置，包括：位在基底之上的第一开口中之金属插塞。上述金属插塞具有实质上为凸面之接触底表面。与实质上并非凸面之金属插塞的接触底表面相比，实质上为凸面之接触底表面具有增加的接触区域。金属插塞增加的接触面积减少了金属插塞的电阻。比起具有较小接触区域的半导体装置，增加的接触面积所需用以形成金属插塞晶种层的沉积数量较少。较少的沉积数量减少了沉积之金属插塞晶种层材料的悬突。减少沉积之金属插塞晶种层材料的悬突减少了金属插塞之沉积金属插塞晶种层材料中凹洞的形成。