容纳单元及包括该容纳单元的基板处理装置

摘要

本发明提供一种容纳单元及包括该容纳单元的基板处理装置。本发明的基板处理装置包括：多个工艺室，用于执行对基板的处理工艺；容纳单元，容纳用于使所述工艺室运行的电子装置。所述容纳单元包括：本体，在一面上具有开口；门，用于以推拉式开闭所述开口；铰合部，具备与所述本体固定结合的第一铰合片和与所述门固定结合的第二铰合片；导线，一端电连接于所述本体，另一端电连接于所述门。所述本体和所述门之一接地，所述导线以通过所述铰合部的方式被配置。本发明的基板处理装置，通过强化接地性能，能够提供更加稳定的作业环境。

主权项

一种基板处理装置，用于处理基板，其特征在于，所述基板处理装置包括：多个工艺室，用于执行对基板的处理工艺，容纳单元，容纳用于使所述工艺室运行的电子装置；所述容纳单元包括：本体，在一面上具有开口，门，用于以推拉式开闭所述开口，铰合部，具备与所述本体固定结合的第一铰合片和与所述门固定结合的第二铰合片，导线，一端电连接于所述本体，另一端电连接于所述门；所述本体和所述门之一接地，所述导线以通过所述铰合部的方式被配置。