| 摘要 |
<p>フィルムフレーム上に不適切に実装されたウェハーの回転ミスアライメントを自動的に訂正することが、検査システムによるウェハー検査工程前、画像取得装置を用いてウェハーの部分の画像を取得すること；フィルムフレーム、及び／又は画像取得装置の視野の参照軸のセットに関するウェハーの回転ミスアライメント角度及び回転ミスアライメント方向を数学処理で決定すること；回転ミスアライメント方向とは反対の方向に回転ミスアライメント角度に亘りフィルムフレームを回転するように構成される、検査システムとは別のフィルムフレームハンドリング機器によりウェハーの回転ミスアライメントを訂正することを含む。そのようなフィルムフレーム回転が、フィルムフレームハンドリングスループット又は検査工程スループットを低下させることなく、ウェハーテーブル上へのフィルムフレームの配置の前に行われる。</p> |
