发明名称 | 液晶显示装置的制造方法 | ||
摘要 | 本发明提供一种液晶显示装置的制造方法,所述方法包括步骤:在玻璃基板上形成晶体管元件与像素电极;依次在所述晶体管元件上形成导电层、金属层以及光阻层;对所述光阻层进行曝光、显影;对所述金属层进行第一次蚀刻;对所述导电层进行蚀刻;对所述光阻层进行剥膜处理;对所述金属层进行第二次蚀刻,去除所述金属层。本发明的液晶显示装置的制造方法通过在导电层上增加金属层,使得在曝光过程中,光线不会通过透明的导电层照射到曝光机台,进而避免了由曝光机台反光导致的阵列基板产生mura现象,工艺简单且成本低。 | ||
申请公布号 | CN104965324A | 申请公布日期 | 2015.10.07 |
申请号 | CN201510437833.9 | 申请日期 | 2015.07.23 |
申请人 | 昆山龙腾光电有限公司 | 发明人 | 张庆明;张波 |
分类号 | G02F1/13(2006.01)I | 主分类号 | G02F1/13(2006.01)I |
代理机构 | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人 | 杨波 |
主权项 | 一种液晶显示装置的制造方法,其特征在于,所述制造方法包括步骤:在玻璃基板上形成晶体管元件与像素电极;依次在所述晶体管元件上形成导电层、金属层以及光阻层;对所述光阻层进行曝光、显影;对所述金属层进行第一次蚀刻;对所述导电层进行蚀刻;对所述光阻层进行剥膜处理;对所述金属层进行第二次蚀刻,去除所述金属层。 | ||
地址 | 215301 江苏省苏州市昆山市龙腾路1号 |