WAFER TEMPERATURE MEASUREMENT TOOL

摘要

반도체 웨이퍼의 표면온도를 측정하기 위한 웨이퍼 온도측정 공구. 상기 공구는 웨이퍼의 서로 다른 부분들에서 온도를 측정하여 높은 분해능의 온도 분포지도를 제공하기 위해 이용될 수 있다. 상기 공구는, 공구 몸체내에 미끄럼 가능하게 배열된 내부의 교정추를 포함한다. 온도 센서는 상기 교정추의 하부에 부착된다. 세라믹 스탠드들이 상기 공구 몸체의 하부에 부착된다. 중력이 상기 교정추에 대해 아래로 끌어 당겨서, 상기 공구 몸체의 세라믹 스탠드들이 상기 웨이퍼상에 배열될 때 상기 온도센서는 상기 웨이퍼와 접촉한다.