| 摘要 |
本发明是一种搬送机构。课题为做成，即使是在将具有翘曲的晶圆搬送至保持台上时，保持台仍可吸引保持晶圆。解决手段为，用于将晶圆搬送至可吸引保持晶圆之保持台的搬送机构，该搬送机构包含保持头，及可使保持头相对于保持台接近及远离的保持头移动手段。该保持头具有，复数个可吸引保持晶圆的吸引保持部，及复数个可在将载置于保持台上之晶圆的外周部朝向保持台按压之按压位置，与不接触到已保持在吸引保持部之晶圆的退避位置之间进行移动的按压构件。即使是在晶圆的外周部分为向上地翘曲的情况下，仍可在保持台上将晶圆的翘曲矫正而消除与保持台之间的间隙，并吸引保持晶圆。 |
