发明名称 有机锆复合材料及其合成法、含有其的原料溶液及形成锆钛酸铅膜的方法
摘要 本发明的有机锆复合材料具有接近有机铅化合物和有机钛化合物的相应分解温度的分解温度。原料溶液能够在宽的温度范围精确地控制PZT薄膜的组成。原料溶液,即使在与有机铅化合物混合时,使有机铅化合物反应的可能性也较小。本发明提供一种造成汽相裂解可能性较小的原料溶液。有机锆复合材料包含一种或至少两种含有作为配体的第一β二酮和结构不同于第一β二酮的第二β二酮两者的锆螯合物,其中,当含有至少两种锆螯合物时,配位成至少两种锆螯合物的第一β二酮和第二β二酮的配位数依各自锆螯合物而变化。
申请公布号 CN100343418C 申请公布日期 2007.10.17
申请号 CN03127418.8 申请日期 2003.08.06
申请人 三菱麻铁里亚尔株式会社 发明人 冈村信吾;平社英之;曾山信幸;小木胜实;高山佳典
分类号 C23C16/18(2006.01) 主分类号 C23C16/18(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 钟守期;郭广迅
主权项 1.一种有机锆复合材料,其包含一种或至少两种包含作为配体的第一β二酮和结构不同于第一β二酮的第二β二酮两者的锆螯合物,其中,当有机锆复合材料含有至少两种锆螯合物时,配位成至少两种锆螯合物的第一β二酮和第二β二酮的配位数依各自锆螯合物而变化。
地址 日本东京都