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发明名称 Herstellung eines CMOS-Kondensators
摘要
申请公布号 DE60120897(T2) 申请公布日期 2006.12.21
申请号 DE20016020897T 申请日期 2001.09.24
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 COOLBAUGH, DOUGLAS DUANE;DUNN, JAMES STUART;ST. ONGE, STEPHEN ARTHUR
分类号 H01L21/8249;H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8222;H01L21/8248;H01L27/06 主分类号 H01L21/8249
代理机构 代理人
主权项
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