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发明名称 CLEAN DRAFT CHAMBER
摘要
申请公布号 JPH02280844(A) 申请公布日期 1990.11.16
申请号 JP19890102025 申请日期 1989.04.21
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 NAKAYAMA TSUTOMU;ICHIISHI KENZOU;TAKAHASHI TAKEO;KUSAKA YUTAKA
分类号 F24F7/06;B01L1/00;H01L21/304;H01L21/306 主分类号 F24F7/06
代理机构 代理人
主权项
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