REFERENCE WAFER FOR HAZE CALIBRATION

摘要

On décrit une référence servant à calibrer un explorateur optique d'inspection de surface de plaquette, et plus particulièrement un système pour mesurer le voile. La plaquette de référence (10) contient des sections (12) divisées en sous-sections (16), chaque sous-section ayant une configuration quasi aléatoire de caractéristiques de dispersion de lumière sur une surface de plaquette autrement polie. On forme la configuration quasi aléatoire de caractéristiques en créant une configuration aléatoire de creux (20) à l'intérieur de zones très petites (18) de la sous-section et en répétant ladite configuration. La configuration aléatoire de creux couvre une zone inférieure à la zone du spot d'un faisceau explorateur utilisé par le système d'inspection de surface de plaquette. En donnant une forme aléatoire à la configuration de creux à l'intérieur du faisceau explorateur, la lumière dispersée ne produit pas de configurations d'interférence et ainsi la lumière dispersée est plus isotrope. On peut obtenir une mesure directe de la quantité de voile sur la plaquette de référence en mesurant la quantité de lumière dispersée provoquée par les creux. Comme on sait au préalable que ce niveau de dispersion correspond à un certain niveau de voile, le système d'inspection de la surface de la plaquette peut ensuite être calibré de manière à permettre des mesures précises du voile se trouvant sur des surfaces de plaquettes qui ne sont pas des plaquettes de référence.