| 发明名称 |
DETECTING METHOD FOR ION CURRENT AGING CHANGE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04337232(A) |
申请公布日期 |
1992.11.25 |
| 申请号 |
JP19910110517 |
申请日期 |
1991.05.15 |
| 申请人 |
FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE |
发明人 |
SUZUKI YOSHIHISA |
| 分类号 |
C23C14/48;C23C14/54;G01R13/00;H01J27/02;H01J37/04;H01J37/08 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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