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发明名称 GERAET ZUM AUTOMATISCHEN REINIGEN EINER OBERFLAECHE.
摘要
申请公布号 DE3882158(D1) 申请公布日期 1993.08.12
申请号 DE19883882158 申请日期 1988.03.11
申请人 HEWLETT-PACKARD CO., PALO ALTO, CALIF., US 发明人 HUFF, RICHARD E., BELMONT, CA 94002, US;PERLAKI, MIKLOS K., ROCKLIN, CA, US
分类号 H01L21/66;G01R1/067;G01R1/073;G01R3/00;G01R31/26;G01R31/28;H01R33/76;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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