| 发明名称 |
薄膜缺陷检查方法 |
| 摘要 |
本发明涉及一种薄膜缺陷检查方法，其包括：在待测薄膜表面形成一朗缪尔薄膜；利用一光源照射该朗缪尔薄膜，触发薄膜干涉；观察发生薄膜干涉现象的朗缪尔薄膜；依据薄膜干涉原理分析所产生的薄膜干涉图样，在曲线状干涉条纹对应的待测薄膜处存在缺陷，在无干涉条纹出现的对应待测薄膜处不存在缺陷。该检查方法可以放大薄膜的缺陷，从而达到更有效检查的目的。 |
| 申请公布号 |
CN100516849C |
申请公布日期 |
2009.07.22 |
| 申请号 |
CN200510102281.2 |
申请日期 |
2005.12.08 |
| 申请人 |
群康科技（深圳）有限公司;群创光电股份有限公司 |
发明人 |
黄荣龙;彭家鹏 |
| 分类号 |
G01N21/95(2006.01)I;B05D1/20(2006.01)I |
主分类号 |
G01N21/95(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
1.一种薄膜缺陷检查方法，其包括以下步骤：在待测薄膜表面形成一朗缪尔薄膜；利用一光源照射该朗缪尔薄膜，触发薄膜干涉；观察该朗缪尔薄膜；依据薄膜干涉原理分析所产生的薄膜干涉图样，在曲线状干涉条纹对应的待测薄膜处存在缺陷，在无干涉条纹出现的对应待测薄膜处不存在缺陷。 |
| 地址 |
518109广东省深圳市宝安区龙华镇富士康科技工业园E区4栋1层 |
