发明名称 一种光束传输装置及方法
摘要 本发明提出一种光束传输装置,用于将激光器出射的光束传输到基础照明系统,在所述光束的光路上,放置光束控制单元,在所述光束的光路上,放置有一分束器,所述光束经过所述分束器后被分成第一光束和第二光束,所述第一光束的光路上设置一光束出口,所述第二光束的光路上设置光束测量单元,所述光束控制单元和所述光束测量单元都和一控制器相连,本发明能够实时测量光束的位置和角度,并根据测量结果及时调节光束的位置和角度,确保了照明系统远心和均匀性的稳定性。
申请公布号 CN101487983A 申请公布日期 2009.07.22
申请号 CN200910046305.5 申请日期 2009.02.18
申请人 上海微电子装备有限公司 发明人 郭勇;曹昇炜
分类号 G03F7/20(2006.01)I;G02B27/00(2006.01)I 主分类号 G03F7/20(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所 代理人 屈 蘅;李时云
主权项 1. 一种光束传输装置,用于将激光器出射的光束传输到基础照明系统,在所述光束的光路上,放置光束控制单元,其特征在于:在所述光束的光路上,放置有一分束器,所述光束经过所述分束器后被分成第一光束和第二光束,所述第一光束的光路上设置一光束出口,所述第二光束的光路上设置光束测量单元,所述光束控制单元和所述光束测量单元都和一控制器相连。
地址 201203上海市张江高科技园区张东路1525号