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发明名称 Method of manufacturing a semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100900680(B1) 申请公布日期 2009.06.01
申请号 KR20020075796 申请日期 2002.12.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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