凹入式通道半导体元件及其制造方法

摘要

一种形成凹入式通道半导体元件之方法，包含提供一基板结构，系包含一硬遮罩层于一基板上，且硬遮罩层具有复数个开口配置成阵列，系各暴露一沟渠式半导体结构于基板内；形成栓塞于各开口中，且与硬遮罩层邻接；移除硬遮罩层；形成间隙壁于各栓塞之侧壁；沿一第一方向，形成复数个沟渠隔离于基板中，且于沟渠式半导体结构之两侧，以界定一主动区域；以及以间隙壁为罩幕，去除基板至一预定深度，以形一凹入式通道。本发明亦提供一种具有管体轮廓之凹入式通道半导体元件。