发明名称 METHOD FOR FORMING A PATTERN IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20090054296(A) 申请公布日期 2009.05.29
申请号 KR20070121084 申请日期 2007.11.26
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LIM, NAM SU;PARK, JAE KWAN;KWAK, DONG HWA;JIN, SO WI;HWANG, BYUNG JUN
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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