MICROMECHANICAL COMPONENT FOR THE MODULATION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION

摘要

Ein mikromechanisches Bauelement mit einem Substrat, das so strukturiert ist, dass in demselben eine Platte mit einer Modulationsstruktur gebildet ist, die lateral auslenkbar ist und lateral strahlungsmodulierend wirkt, weist eine Einrichtung zum lateralen Auslenken der Platte auf, wobei die Modulationsstruktur eine aperiodische Struktur aufweist oder durch eine Hademard- oder eine Simplexmatrix beschrieben wird.