出平面感测装置

摘要

本案提出了一种出平面感测装置，包含：一基板；一质量块，设置于基板上；一框体，设置于基板上，并围绕质量块；至少一弹性元件，连接框体与质量块，其中当质量块朝向或远离基板移动时，弹性元件将对质量块施予一力量，使其回复至平衡时的位置；一电极，由质量块朝框体延伸而出；及一相对电极，由框体朝质量块延伸而出，其中电极与相对电极在基板上的投影系部分重叠。