厚膜光阻,申请号TW097130707-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	厚膜光阻
摘要	本发明揭示厚膜光阻组合物。
申请公布号	TW200916957	申请公布日期	2009.04.16
申请号	TW097130707	申请日期	2008.08.12
申请人	ＡＺ电子材料美国股份有限公司	发明人	米哈达Ａ　陶凯;玛格丽特　邦尼斯可
分类号	G03F7/032(2006.01);G03F7/027(2006.01);G03F7/004(2006.01);H01L21/027(2006.01)	主分类号	G03F7/032(2006.01)
代理机构		代理人	陈长文
主权项
地址	美国

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