离子植入机中终端隔离的技术

摘要

本发明揭露用于离子植入机的终端隔离的技术。在一个特定示范性实施例中，该等技术可被实现为离子植入机，其包括界定终端空腔的终端结构。离子植入机亦可包括界定接地空腔的接地外壳且终端结构可至少部份地安置于接地空腔内。离子植入机还可包括中间终端结构，中间终端结构紧邻终端结构的外部安置且至少部份地安置于接地空腔内。