一种用于三氟化氮无水分解反应的氧化铝基脱氟剂及其应用方法

摘要

本发明涉及一种用于三氟化氮无水分解反应的氧化铝基脱氟剂及其应用方法，脱氟剂由氧化铝和金属助剂氧化物组成，其中金属助剂的质量占氧化铝质量的0-10％，优选组成中金属助剂的质量占氧化铝质量的5-10％。本发明提供金属助剂为钴、铁或镍，最好为钴。本发明还提供上述脱氟剂的应用方法：将含有NF₃的废气引入到反应炉中，加入氧化铝基脱氟剂，气体空间流速1.5升/小时/克，反应温度300-400℃，优选温度400℃。本发明制备的脱氟剂的突出特点是：原料价廉易得，制备工艺简单。该脱氟剂用于分解电子工业过程产生的三氟化氮废气，性价比高，应用广泛。

主权项

1、一种用于三氟化氮无水分解反应的氧化铝基脱氟剂，其特征在于：组成成分为氧化铝和金属助剂氧化物，其中金属助剂氧化物的量以金属助剂的量计，金属助剂的质量占氧化铝质量的0-10％。