| 发明名称 | 接地结构、加热器以及化学气相沉积装置 | ||
| 摘要 | 一种接地结构、加热器以及化学气相沉积装置，包括接地底座、接地端、导电保持件和连接部件。所述接地端可移动地插入于所述接地底座中。所述导电保持件设置于所述接地底座中以保持所述接地端。所述连接部件将所述导电保持件电连接至所述接地底座。因而，所述导电保持件可与所述接地端紧密接触，从而使所述接地端不会受损。 | ||
| 申请公布号 | CN201220961Y | 申请公布日期 | 2009.04.15 |
| 申请号 | CN200720195939.3 | 申请日期 | 2007.11.22 |
| 申请人 | 高美科株式会社 | 发明人 | 李盛玟;许康壹;崔正德;李范述 |
| 分类号 | C23C16/00(2006.01)I;C30B25/00(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 余 朦;方 挺 |
| 主权项 | 1.一种加热器的接地结构，其特征在于，包括：接地底座；接地端，可移动地插入于所述接地底座中；导电保持件，设置于所述接地底座中以保持所述接地端；以及连接部件，用于将所述导电保持件电连接至所述接地底座。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||