一种带有研磨盘冷却机构的平面研磨机

摘要

本发明公开了一种带有研磨盘冷却机构的平面研磨机，包括研磨盘，主轴安装在机座上，工件的被加工面平置于研磨盘上表面，研磨盘放置在研磨盘支撑板上，研磨盘支撑板连接主轴，工件由夹具和压头夹持；所述的平面研磨机还有对研磨盘冷却的研磨盘冷却机构，该研磨盘冷却机构包括：一研磨盘支撑板，一循环盘，密封圈，接头、水嘴；循环盘固联于机座的上表面，研磨盘支撑板与循环盘固联，接头固联于机座的下部凸台之上，上述两两联接件间均置有密封圈；水嘴与接头相联；本发明的冷却回路不经过研磨盘表面，冷却液不会冲走研磨液，故不会影响游离研磨加工过程，流经研磨盘底的冷却液能及时的带走研磨盘各区域积聚的热量，能起到很好的冷却效果。

主权项

1.一种带有研磨盘冷却机构的平面研磨机，包括研磨盘(4)，主轴(10)，机座(8)，所述机座(8)安装在主轴(10)上，工件(3)的被加工面平置于研磨盘(4)上表面，研磨盘(4)放置在研磨盘支撑板(5)上，研磨盘支撑板(5)连接主轴(10)并在主轴(10)的带动下围绕主轴轴线旋转，夹具(2)夹持工件(3)，压头(1)压住夹具(2)；其特征在于：所述的平面研磨机有研磨盘冷却机构，该研磨盘冷却机构包括：上述的一研磨盘支撑板(5)，一循环盘(7)，密封圈(6)，接头(9)、水嘴(L1～L4)；循环盘(7)固联于机座(8)的上凸台表面，研磨盘支撑板(5)与循环盘(7)固联，接头(9)固联于机座(8)的下部凸台之上，上述两两联接件间均置有密封圈；水嘴(L1～L4)的一端分别与接头(9)相连接。