超高真空环境下的微量气体注入设备

摘要

超高真空环境下的微量气体注入设备，包括低真空段、高真空室和超高真空室；低真空段贮气钢瓶经铜软管与电磁阀、热偶规、微调阀串联连接；高真空室和超高真空室分别配置涡轮分子泵机组，中间用带有限流小孔的密封板隔开，密封板固定在法兰上；在微调阀门的出口处连接一喷嘴，喷嘴与高真空室连通，超高真空室与波纹管连通；通过法兰与气动阀门的右端带有限流小孔的密封板连接，密封板固定在法兰上，气动阀门的左端直接与实验装置主体用法兰连接；高真空室和超高真空室还分别连接有热阴极电离规。本发明进行气体注入实验时可以得到均匀稳定的实验气体流，而且可以精密调节气体流量，有效提高实验数据的精确度。

主权项

1.超高真空环境下的微量气体注入设备，其特征在于：包括低真空段、高真空室和超高真空室；低真空段贮气钢瓶经铜软管与电磁阀、热偶规、微调阀串联连接；高真空室和超高真空室分别配置涡轮分子泵机组，中间用带有限流小孔的密封板隔开，密封板固定在法兰上；在微调阀门的出口处连接一喷嘴，喷嘴与高真空室连通，超高真空室与波纹管连通；通过法兰与气动阀门的右端带有限流小孔的密封板连接，密封板固定在法兰上，气动阀门的左端直接与实验装置主体用法兰连接；高真空室和超高真空室还分别连接有热阴极电离规。