准分子灯

摘要

本发明提供一种可有效率地利用波长150nm附近的短波长的光、而可构成作为具有高处理能力的准分子灯。本发明的准分子灯，包括具有放电空间的由二氧化硅玻璃构成的放电容器，在夹着形成该放电容器的二氧化硅玻璃的状态下设有一对电极，并且在放电空间内封入有氙气体，在上述放电容器的放电空间内产生准分子放电，其中，在上述放电容器的曝露于放电空间中的表面上，形成由二氧化硅粒子与氧化铝粒子形成的紫外线反射膜，该紫外线反射膜所含的除了硅及铝以外的杂质金属的浓度为700wtppm以下。

主权项

1.一种准分子灯，包括具有放电空间的由二氧化硅玻璃构成的放电容器，在夹着形成该放电容器的二氧化硅玻璃的状态下设有一对电极，并且在放电空间内封入有氙气体，在上述放电容器的放电空间内产生准分子放电，其特征在于，在上述放电容器的曝露于放电空间中的表面上，形成由二氧化硅粒子与氧化铝粒子形成的紫外线反射膜，该紫外线反射膜所含的除了硅及铝以外的杂质金属的浓度为700wtppm以下。