一种光刻物镜

摘要

本发明是一种光刻物镜。包括有依次装设的物面(10)，第一透镜(1)，用于改变物与像的方向、使其物与像的方向一致的第一棱镜(7)，第二透镜(2)，第三透镜(3)，光阑(8)，第四透镜(4)，第五透镜(5)，用于改变物与像的方向、使其物与像的方向一致的第二棱镜(9)，第六透镜(6)，像面(11)，其中第一透镜(1)与第六透镜(6)的结构完全相同，第二透镜(2)与第五透镜(5)的结构完全相同，第三透镜(3)与第四透镜(4)的结构完全相同。本发明由于采用由六片透镜和两片棱镜组合成物方和像方都远心的双远心光路的结构，这种结构避免了由于掩模和基板的离焦而导致放大倍率发生变化，且相对照度几乎达到100％。本发明是一种分辨率高、焦深大、畸变小、结构简单、一次性曝光面积大的方便实用的光刻物镜。

主权项

1、一种光刻物镜，其特征在于包括有依次装设的物面(10)，第一透镜(1)，用于改变物与像的方向、使其物与像的方向一致的第一棱镜(7)，第二透镜(2)，第三透镜(3)，光阑(8)，第四透镜(4)，第五透镜(5)，用于改变物与像的方向、使其物与像的方向一致的第二棱镜(9)，第六透镜(6)，像面(11)，其中第一透镜(1)与第六透镜(6)的结构完全相同，第二透镜(2)与第五透镜(5)的结构完全相同，第三透镜(3)与第四透镜(4)的结构完全相同。