发明名称 Sechsachsiges Positioniersystem mit magnetfeldfreiem Raum
摘要
申请公布号 DE50114723(D1) 申请公布日期 2009.04.09
申请号 DE20015014723 申请日期 2001.08.30
申请人 VISTEC ELECTRON BEAM GMBH 发明人 KIRSCHSTEIN, ULF-CARSTEN;BECKERT, ERIK;HOFFMANN, ANDREW;SCHAEFFEL, CHRISTOPH DR. ING.;SAFFERT, EUGEN;ZENTNER, JOHANNES;GRAMSCH, TORSTEN
分类号 G01B11/27;G01B11/00;G03F7/20;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/68 主分类号 G01B11/27
代理机构 代理人
主权项
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