| 发明名称 |
SYSTEM AND METHOD FOR DEPOSITION OF A MATERIAL ON A SUBSTRATE |
| 摘要 |
<p>A method and apparatus for improving coating of a substrate.</p> |
| 申请公布号 |
EP2044238(A2) |
申请公布日期 |
2009.04.08 |
| 申请号 |
EP20070809148 |
申请日期 |
2007.05.23 |
| 申请人 |
FIRST SOLAR, INC |
发明人 |
MALTBY, MICHAEL, G. |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C23C16/54 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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