发明名称 METHOD OF OBTAINING ANISOTROPIC CRYSTALLINE FILMS AND DEVICES FOR IMPLEMENTATION OF THE METHOD
摘要
申请公布号 EP1358667(A4) 申请公布日期 2009.04.08
申请号 EP20020707744 申请日期 2002.02.06
申请人 NITTO DENKO CORPORATION 发明人 LAZAREV, PAVEL;NAZAROV, VICTOR;OVCHINNIKOVA, NATALYA
分类号 G02B5/30;B29C41/28;B29C55/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 G02B5/30
代理机构 代理人
主权项
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