测辐射热探测器、使用探测器的设备和制造探测器的方法

摘要

本发明涉及一种用于电磁辐射的测辐射热探测器，其包括：敏感部分或膜，其包括敏感材料(6)的一个或多个层、与读出电路(1)保持电连续性的第一电导体元件、处于浮动电位的第二电导体元件；用于所述敏感部分的至少一个支撑区域(3)，其实现相对于所述读出电路定位所述敏感部分和电导体的功能；至少一个绝热结构(4)，其将每个支撑区域(3)电地和机械地连接到所述敏感部分；所述导体元件被分布为两个交叉的重叠的导电轨道的网络(5A，5B)，两个网络中的第一个(5A)包括所有所述第一导体元件。

主权项

一种用于电磁辐射的测辐射热探测器，包括：I敏感部分或膜，其包括：i敏感材料(6)的一个或多个层，所述敏感材料的电阻率随着温度而变化；ii与读出电路(1)保持电连续性的第一电导体元件，所述读出电路与所述测辐射热探测器相关联，一方面，所述第一电导体元件用作所述探测器的电极，为此与所述敏感材料(6)接触，另一方面，所述第一电导体元件用作电磁辐射吸收器；iii处于浮动电位的第二电导体元件，其仅仅用作电磁辐射吸收器；II用于所述敏感部分的至少一个支撑区域(3)，其实现相对于所述读出电路定位所述敏感部分的功能；III至少一个绝热结构(4)，其将每个支撑区域(3)电地和机械地连接到所述敏感部分；其特征在于，所述第一和第二电导体元件被分布为两个交叉的重叠的导电轨道的第一网络(5A)和第二网络(5B)，两个网络中的第一个(5A)包括所有所述第一电导体元件。