| 发明名称 | 基板温度控制装置用载置台 | ||
| 摘要 | 一种基板温度控制装置用载置台，相比以往能够减少对基板进行加热或冷却时产生的过渡性温度分布的扩展。该基板温度控制装置用载置台是在控制基板温度的基板温度控制装置中用于将具有规定直径的基板载置于规定位置的载置台，包括：板片，其在与基板对置的第一面中包括与基板的端缘对应的位置的区域形成有低于中心部的台阶部；调温部，其配置在板片的与第一面相反侧的第二面。 | ||
| 申请公布号 | CN101911248A | 申请公布日期 | 2010.12.08 |
| 申请号 | CN200880124293.7 | 申请日期 | 2008.12.15 |
| 申请人 | 株式会社小松制作所 | 发明人 | 板东贤一;佐佐木淳 |
| 分类号 | H01L21/027(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H05B3/68(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/027(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 张宝荣 |
| 主权项 | 一种基板温度控制装置用载置台，是在控制基板温度的基板温度控制装置中用于将具有规定直径的基板载置于规定位置的载置台，其特征在于，具备：板片，其在与所述基板对置的第一面中包括与所述基板的端缘对应的位置的区域形成有低于中心部的台阶部；调温部，其配置在所述板片的与第一面相反侧的第二面。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||