| 发明名称 |
Sample holder, method for observation and inspection, and apparatus for observation and inspection |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2075821(A3) |
申请公布日期 |
2010.12.08 |
| 申请号 |
EP20080254133 |
申请日期 |
2008.12.23 |
| 申请人 |
JEOL LTD. |
发明人 |
SUGA, MITSUO;NISHIYAMA, HIDETOSHI |
| 分类号 |
H01J37/20;G01N23/225;H01J37/26 |
主分类号 |
H01J37/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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