| 发明名称 | 安装在抛光头上的抛光液汇聚装置 | ||
| 摘要 | 一种安装在抛光头上的抛光液汇聚装置，它包括：固定在抛光头的轴部上的固定装置，安装在抛光头底部侧面边缘的一个锲型平台，固定装置与锲型平台之间用伸缩的连接杆连接，平台外侧有挡板，平台末端开放，引导抛光液排到抛光头轨迹经过的抛光布上。本实用新型的优点是装置简单，安装方便，可有效的提高抛光液使用率，降低使用成本。 | ||
| 申请公布号 | CN201625921U | 申请公布日期 | 2010.11.10 |
| 申请号 | CN200920278021.4 | 申请日期 | 2009.12.09 |
| 申请人 | 北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司;国泰半导体材料有限公司 | 发明人 | 索思卓;库黎明 |
| 分类号 | B24B57/00(2006.01)I;H01L21/302(2006.01)N | 主分类号 | B24B57/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人 | 郭佩兰 |
| 主权项 | 一种安装在抛光头上的抛光液汇聚装置，其特征在于：它包括：固定在抛光头的轴部上的固定装置，安装在抛光头底部侧面边缘的一个锲型平台，固定装置与锲型平台之间用伸缩的连接杆连接，平台外侧有挡板，平台末端开放，引导抛光液排到抛光头轨迹经过的抛光布上。 | ||
| 地址 | 100088 北京市新街口外大街2号 | ||