发明名称 A VACUUM UNIT, A SYSTEM COMPRISING SUCH VACUUM UNIT, AND A METHOD OF OPERATING A VACUUM UNIT
摘要
申请公布号 EP2013486(B1) 申请公布日期 2010.11.10
申请号 EP20070748045 申请日期 2007.04.20
申请人 AVAC VAKUUMTEKNIK AB 发明人 JOHANSSON, HAAKAN;CASINGE, TOM
分类号 F04F5/52;B65G47/91;B66C1/02;F15C1/14;G06D1/10 主分类号 F04F5/52
代理机构 代理人
主权项
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