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发明名称
BESCHICHTUNGSGERÄT MIT EINEM REINIGUNGSGERÄT FÜR SUBSTRAT UND BESCHICHTUNGSVERFAHREN, DAS EIN SOLCHES BESCHICHTUNGSGERÄT BENUTZT
摘要
申请公布号
AT483040(T)
申请公布日期
2010.10.15
申请号
AT20030800298T
申请日期
2003.12.31
申请人
CARDINAL CG COMPANY
发明人
HARTIG, KLAUS
分类号
C23C14/10;C03C17/00;C03C23/00;C23C14/02;C23C14/34;C23C14/46;C23C14/50;C23C14/56
主分类号
C23C14/10
代理机构
代理人
主权项
地址
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