发明名称 BESCHICHTUNGSGERÄT MIT EINEM REINIGUNGSGERÄT FÜR SUBSTRAT UND BESCHICHTUNGSVERFAHREN, DAS EIN SOLCHES BESCHICHTUNGSGERÄT BENUTZT
摘要
申请公布号 AT483040(T) 申请公布日期 2010.10.15
申请号 AT20030800298T 申请日期 2003.12.31
申请人 CARDINAL CG COMPANY 发明人 HARTIG, KLAUS
分类号 C23C14/10;C03C17/00;C03C23/00;C23C14/02;C23C14/34;C23C14/46;C23C14/50;C23C14/56 主分类号 C23C14/10
代理机构 代理人
主权项
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