光学感测之接触式量测探头

摘要

本发明系有关于一种光学感测之接触式量测探头，系包括一基座、一固定于基座上的光学感测装置、悬吊装置与挟持该悬吊装置之导杆的挟持装置；俾经由该挟持装置呈三点点接触挟持悬吊装置之导杆的设计，使该悬吊装置只具有一维自由度；继透过该光学感测装置量测该悬吊装置的位移变化量并据此得到一聚焦误差讯号，利用此聚焦误差讯号可得到悬吊装置相对于基座的位移量，进而求得待测物之表面轮廓与粗度。