多处理室型真空处理设备

摘要

即使在真空室已经安装完成之后，仍可根据使用者的需要，改变真空室的形状与尺寸。;真空室1的结构能自由地分割成一矩形内室主体2；三角形侧框架3a，3b，可拆卸地藉由螺栓紧密连结至内室主体之两侧上；顶板5，8，系连结到内室主体2的个别顶面及各具有一开口的侧框架3a，3b上；及底板7与9，系连接到内室主体2的个别底面及具有一开口的侧框架3a，3b上。因此，可以根据使用者的要求而轻易改变真空室的形状与尺寸。