太阳能电池之制造方法

摘要

一种太阳能电池之制造方法，包含以下步骤：提供一矽基板组件，其包含一矽基板及形成于矽基板上之一抗反射层，矽基板包含一第一型矽层及一第二型矽层，抗反射层位于第二型矽层上；置放一第一硬质光罩于抗反射层上，第一硬质光罩具有一第一图案以露出部分之抗反射层；对露出之部分之抗反射层蚀刻，以于抗反射层中形成复数个第一沟槽；移除第一硬质光罩；以及于此等第一沟槽中形成复数条第一金属导线。