质量分析计之控制方法及质量分析计

摘要

本发明之质量分析计之控制方法系包括对具有阴极电极以及阳极电极之离子源之上述阴极电极供给电流，使被测定气体之分子离子化之步骤；按照每一质荷比筛选上述离子源中产生之离子之步骤；检测经筛选之上述离子之离子电流值之步骤的质量分析计之控制方法，且当基于上述离子电流值之检测结果，进行上述被测定气体之分压测定之情形时，为了流经上述阴极电极与上述阳极电极之间的发射电流达到恒定，对上述阴极电极供给阴极电流，而于不进行上述被测定气体之分压测定之情形时，将电流值小于上述阴极电流之定电流供给至上述阴极电极。