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发明名称 Verfahren zur Herstellung integrierter Schaltungen
摘要
申请公布号 DE69116058(D1) 申请公布日期 1996.02.15
申请号 DE19916016058 申请日期 1991.09.20
申请人 AT & T CORP., NEW YORK, N.Y., US 发明人 FOO, PANG-DOW, BERKELEY HEIGHTS, NEW JERSEY 07922, US;PAI, CHIEN-SHING, BRIDGEWATER, NEW JERSEY 08807, US
分类号 H01L21/285;C23C16/32;C23C16/50;C23C16/511;H01L21/28;H01L21/768;(IPC1-7):H05K3/00 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
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