铟锡氧化物薄膜的回收方法以及基板的回收方法

摘要

一种铟锡氧化物薄膜的回收方法。首先，提供一待回收物，此待回收物具有一铟锡氧化物薄膜，接着，使一硷液与铟锡氧化物薄膜接触，以使铟锡氧化物薄膜自待回收物剥离并混合于硷液中，其中硷液之成分包括氢氧化钾及/或氢氧化钠。之后，收集剥离的铟锡氧化物薄膜与硷液之混合物，并自铟锡氧化物薄膜与硷液之混合物中过滤而取得含铟之粉末。本发明另提供一种基板的回收方法。