发光元件之制作方法

摘要

本发明提供一种发光元件之制作方法，包括：提供一第一基板；形成复数个图案化罩幕层于该第一基板上方或蚀刻该第一基板形成复数个沟槽；以磊晶侧向生长(epitaxial lateral overgrowth)方法成长一磊晶层于第一基板上方；形成一发光二极体结构于磊晶层上；形成一第一电极层于发光二极体结构上；将发光二极体结构键合到一第二基板；及进行一光辅助电化学蚀刻，将第一基板从磊晶层剥离。