发明名称 蚀刻装置及蚀刻方法
摘要 一种蚀刻装置,包括蚀刻槽、传送滚轮组、上喷淋装置、下喷淋装置、第一升降机构及第二升降机构。传送滚轮组包括复数上传送滚轮与复数下传送滚轮。上喷淋装置位于复数上传送滚轮上方。该下喷淋装置位于复数下传送滚轮下方。第一升降机构安装于蚀刻槽,并与上喷淋装置相连接,用于驱动上喷淋装置相对复数上传送滚轮在垂直于电路板传送之方向移动。该第二升降机构亦安装于蚀刻槽,并与下喷淋装置相连接,用于驱动下喷淋装置相对于复数下传送滚轮在垂直于电路板传送方向移动。本发明还提供一种使用上述蚀刻装置对电路板进行蚀刻之蚀刻方法。
申请公布号 TWI411704 申请公布日期 2013.10.11
申请号 TW100100426 申请日期 2011.01.06
申请人 臻鼎科技股份有限公司 桃园县大园乡三和路28巷6号 发明人 郑建邦
分类号 C23F1/08;H05K3/06 主分类号 C23F1/08
代理机构 代理人
主权项
地址 桃园县大园乡三和路28巷6号