| 摘要 |
[课题];提供可提升乾燥单元中对基板的乾燥性能的基板处理装置、基板处理方法、程式及记忆媒体。;[解决手段];在基板处理装置(1)的液体处理部(2)中，将基板(W)浸渍在被贮留在洗净槽(6)的洗净液。此外，在乾燥处理部(3)中将在内部形成腔室(5)的腔室壁(60)加热。在将腔室壁(60)加热之后，在腔室(5)内供给流体雾。在腔室(5)内供给流体雾之后，使基板(W)由洗净槽(6)移动至腔室(5)内。接着，在使基板(W)由内侧槽(30)移动至腔室(5)内之间，或在使基板(W)移动之后，在腔室(5)内供给乾燥气体而进行基板(W)之乾燥。 |
