发明名称 具有定量加料装置的处理设备
摘要 本创作关于处理设备领域。尤其地,本创作关于在使用定量加料装置的情况下借助于液态成分对工件进行湿法化学处理的处理设备的领域。本创作揭示一种处理设备(14),其具有:能够经由介质供应管道供应的处理池(15),以借助处理介质(B)对工件进行湿法化学处理,所述处理介质具有至少一种液态成分(F);至少一个具有单独的导出管道(10,10’)的定量加料装置(1,1’),其中用于在整个设备的范围内进行处理所需要的每一种液态成分都有分配到一个有单独的定量加料装置(1,1’),并且其中每个导出管道(10,10’)经由可控制的切换阀(17)与处理池(15)的介质供应管道连接(19),及/或其中每个导出管道(10,10’)都通到每个处理池(15)中并具有一个选择阀(9’)。
申请公布号 TWM465965 申请公布日期 2013.11.21
申请号 TW101222555 申请日期 2012.11.21
申请人 瑞纳有限公司 德国 发明人 怀特曼 坦雅;尼塞 玛帝亚斯;史威肯迪克 乔根
分类号 B01J4/02;H01L21/306 主分类号 B01J4/02
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 德国